真空法蘭

• 真空法蘭為316不銹鋼制作

• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口

• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口

• 法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，體內(nèi)真空度可達(dá)10^-2 torr.

加熱元件和載樣臺(tái)

• 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部

• 兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm

• 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）

• 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺(tái)，以達(dá)到較好的加熱均勻性

• 底部載樣臺(tái)上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料

• 此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（16L/m)

  

溫控系統(tǒng)

• 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序

• 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)

• PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中

• 控溫儀表操作視頻

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工作溫度

• 高工作溫度為：800℃

• 兩個(gè)加熱區(qū)之間的大溫差為300℃

加熱和冷卻速率

• 加熱速率> 8oC/s（每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱）

• 冷卻速率> 10oC/s (600 - 100oC)

熱電偶

兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關(guān)）

功率

3000W

可選

• 實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵，可與本公司選購(gòu)真空泵

• 采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr

• 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購(gòu)無油泵

• 也可選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中

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質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管）